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產品描述
邁博瑞PoliCap-Plus系列是專為先進的CMP應用設計的囊式濾芯，尤其適用于含膠體SiO2、CeO2和超細Al2O3 研磨劑的CMP slurry。結構上來說，便捷的拋棄式設計可以實現快速安裝，盡可能地減少slurry暴露和浪費。PoliCap-Plus系列囊式濾芯可配合多種不同接口使用，滿足不同應用需求。
產品特點
- 純PP材質，降低成本
- 拋棄式設計，方便更換并減少slurry暴露
- 低滯留體積，減少slurry浪費并防止其沉積
- 提供多種接口選擇
- 低壓損和優(yōu)秀的顆粒去除效率
- 高納污量，較長的使用壽命
工作特性
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材料 |
過濾層/支撐層 |
聚丙烯 |
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外殼/中心桿/端蓋 |
聚丙烯 |
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密封圈 |
三元乙丙橡膠 |
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精度 |
0.05μm, 0.07μm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm |
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接口形式 |
進出口 |
3/8" Flaretek1， Easy-touch |
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排氣/排液口 |
/ |
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尺寸規(guī)格 |
外徑 |
93mm |
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濾芯直徑 |
68mm |
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長度 |
5inch |
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最大使用條件 |
最大使用壓力 |
0.34 MPa (50 psi) @ 25 ?C (77 ?F) |
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最高使用溫度 |
80 ?C (176?F) |
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流量-壓差曲線
