產(chǎn)品描述
不銹鋼Mini系列專(zhuān)為超高純度氣體設(shè)計(jì)，雙層PTFE膜，過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。內(nèi)部采用全氟內(nèi)芯，具有優(yōu)秀的化學(xué)兼容性，使用各類(lèi)半導(dǎo)體制程氣體。
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 316L電解拋光殼體，全氟內(nèi)芯，高潔凈，低析出；
- 100%完整性及氦檢泄露檢測(cè)
工作特性
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材質(zhì) |
濾膜 |
疏水PTFE |
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中心桿 |
PFA |
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密封圈 |
全氟醚 |
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殼體 |
電拋光316L或316L VAR |
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內(nèi)表面處理 |
粗糙度 |
≤0.13μm |
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表面化學(xué) |
316殼體：Cr Fe>1 |
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316VAR殼體：Cr Fe>1.5 |
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過(guò)濾精度 |
≥0.003μm |
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顆粒攔截效率 |
>99.9999999(9LRV)@30slpm |
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推薦工作流量 |
0-60slpm |
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接口形式 |
1/4 VCR，1/4 SWG |
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氦氣泄漏檢驗(yàn) |
設(shè)計(jì)驗(yàn)證 |
2×10-11atm.cm3 /sec |
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過(guò)程驗(yàn)證 |
1×10-9atm.cm3 /sec |
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操作條件 |
最高工作壓力 |
20.7MPa@121℃ |
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最高工作正向壓差 |
0.4MPa@23℃ |
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最高工作反向壓差 |
0.07MPa@23℃ |
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最高工作溫度 |
120℃ |
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下游潔凈度 |
顆粒物 |
＜0.03ea/L（＞0.01μm的顆粒物） |
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揮發(fā)物 |
＜10ppb |
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流量性能
